D 2010

Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

DVOŘÁK, Pavel; Petr VAŠINA; Vilma BURŠÍKOVÁ a Radek ŽEMLIČKA

Základní údaje

Originální název

Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

Název česky

Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích

Autoři

Vydání

Paříž, 63rd GEC and 7th ICRP - Conference Proceedings, od s. CTP-142, 2 s. 2010

Nakladatel

Japan Society of Applied Physics

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Francie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00045011

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-4-86348-101-5

Klíčová slova česky

vyšší harmonické frekvence; koncentrace elektronů; plazma

Klíčová slova anglicky

higher harmonic frequencies; electron concentration; plasma
Změněno: 11. 10. 2010 13:19, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Dependence of amplitudes of higher harmonic frequencies on electron concentration.

Česky

Závislost amplitud vyšších harmonických frekvencí na koncentraci elektronů.

Návaznosti

GA202/07/1669, projekt VaV
Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek