2010
Investigation of silicon surface wettability after plasma treatment
SKÁCELOVÁ, Dana; Pavel SŤAHEL; Martin HANIČINEC a Mirko ČERNÁKZákladní údaje
Originální název
Investigation of silicon surface wettability after plasma treatment
Autoři
SKÁCELOVÁ, Dana; Pavel SŤAHEL; Martin HANIČINEC a Mirko ČERNÁK
Vydání
Bratislava, HAKONE XII Contributed paper, 307 s. 2010
Nakladatel
Comenius University
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Slovensko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ne
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-89186-71-6
Klíčová slova anglicky
Diffuse coplanar DBD, silicon, plasma treatment
Změněno: 5. 4. 2012 16:39, Mgr. Dana Skácelová, Ph.D.
Anotace
V originále
In this contribution the influence of the plasma on crystalline Si (100) surface was studied. Dielectric barrier discharge the so called Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge (DCSBD) to plasma modification was used. The silicon surface modification after plasma treatment was investigated by AFM and contact angle measurement. Different way to clean the surface is reflected on the surface wettability after plasma treatment and the ageing effect of treated surface was studied too.
Návaznosti
| KAN101630651, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|