a 2010

Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions

SCHMIDTOVÁ, Tereza; Petr VAŠINA a Pavel SOUČEK

Základní údaje

Originální název

Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions

Autoři

Vydání

Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass, 2010

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00045790

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

magnetronové naprašování; modelování

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; modelling
Změněno: 4. 1. 2011 09:34, Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Anotace

V originále

Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. No hysteresis effect was observed and modelled.

Návaznosti

GD104/09/H080, projekt VaV
Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek