a 2010

X-ray scattering study of oxide precipitates in Cz-Si

CAHA, Ondřej; Mojmír MEDUŇA; Silvie BERNATOVÁ; Jiří RŮŽIČKA; Petr MIKULÍK et al.

Základní údaje

Originální název

X-ray scattering study of oxide precipitates in Cz-Si

Název česky

Studie rtg rozptylu na kyslíkových precipitátech v CZ Si

Autoři

CAHA, Ondřej; Mojmír MEDUŇA; Silvie BERNATOVÁ; Jiří RŮŽIČKA; Petr MIKULÍK; Jiří BURŠÍK; Milan SVOBODA a S. BERNSTORFF

Vydání

2010

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00046556

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-254-7361-0

Klíčová slova anglicky

x-ray; silicon; defects
Změněno: 23. 1. 2012 15:58, doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Two x-ray diffraction methods were used for characterization of the oxide precipitates in Czochralski silicon series of samples. The maping of the diffuse scattering around reciprocal lattice point in Bragg geometry and the simultaneous measurement of the diffracted and transmitted beam intensity in the Laue diffraction geometry.

Česky

Dvě difrakční metody byly použity pro charakterizaci kyslíkových precipitátů v sérii vzorků CZ křemíku.

Návaznosti

GA202/09/1013, projekt VaV
Název: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku
Investor: Grantová agentura ČR, Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku
GP202/09/P410, projekt VaV
Název: Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích
Investor: Grantová agentura ČR, Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur