2010
OPTICAL PROPERTIES OF PECVD DEPOSITED DLC:N FILMS
MURESAN, Mihai George; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Daniel FRANTA a David NEČASZákladní údaje
Originální název
OPTICAL PROPERTIES OF PECVD DEPOSITED DLC:N FILMS
Autoři
MURESAN, Mihai George; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Daniel FRANTA a David NEČAS
Vydání
11th International Balkan Workshop on Applied Physics 2010, 2010
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Rumunsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/10:00047524
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-973-614-554-4
Klíčová slova anglicky
diamond-like carbon; nitrogen; pecvd; optical properties
Štítky
Změněno: 14. 3. 2011 18:54, Mihai George Muresan, Ph.D., M.Sc.
Anotace
V originále
Amorphous hydrogenated carbon films can be used, besides tribological applications, in photonics. It can include such applications like antireflective coatings, photosensitive materials or thickness monitoring. The optical properties are crucial parameters for these applications, especially possible tuning of refractive index and decrease of absorption in visible. These effects can be achieved by doping with nitrogen. In this contribution, nitrogen doped diamond-like carbon films (DLC:N) were deposited on silicon substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method using a mixture of methane, hydrogen and nitrogen as reactants. Discharge was excited in capacitively coupled configuration at 13.56 MHz. The bias voltage, working pressure and temperature were changed to vary film optical properties. The optical properties of the films were investigated using UV-VIS reflectometry, ellipsometry and FTIR transmittance measurement.
Návaznosti
| GD104/09/H080, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|