2010
Effect of Nitrogen Incorporation on Optical Properties of DLC Layers
MURESAN, Mihai George; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Daniel FRANTA a David NEČASZákladní údaje
Originální název
Effect of Nitrogen Incorporation on Optical Properties of DLC Layers
Autoři
MURESAN, Mihai George; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Daniel FRANTA a David NEČAS
Vydání
19th Annual Student Conference - Week of Doctoral Students 2010, 2010
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/10:00047539
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
Diamond-Like Carbon; optical properties
Změněno: 14. 3. 2011 19:08, Mihai George Muresan, Ph.D., M.Sc.
Anotace
V originále
Diamond-like carbon (amorphous hydrogenated carbon: a-C:H) films doped with different amount of nitrogen were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge 13.56 in the mixture of CH4/H2/N2 on silicon substrates. Nitrogen content allowed reduction of the inherent internal stress of the DLC layer. DC self-bias, time and gas feed composition parameters were used for modification of the optical properties, adhesion to substrates, chemical composition and structure of the deposited films.
Návaznosti
| GD104/09/H080, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|