J 2011

Very low energy scanning electron microscopy

FRANK, Luděk; Miloš HOVORKA; Ivo KONVALINA; Šárka MIKMEKOVÁ; Ilona MÜLLEROVÁ et al.

Základní údaje

Originální název

Very low energy scanning electron microscopy

Autoři

FRANK, Luděk; Miloš HOVORKA; Ivo KONVALINA; Šárka MIKMEKOVÁ a Ilona MÜLLEROVÁ

Vydání

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research A, NETHERLANDS, Elsevier B.V. 2011, 0168-9002

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 1.207

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

Klíčová slova anglicky

Scanning electron microscopy, Low energy electrons, Cathode lens, Very low energy, STEM, Grain contrast

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 18. 3. 2011 16:10, Mgr. Miloš Hovorka, Ph.D.

Anotace

V originále

An overview of recent developments in very low energy scanning electron microscopy is presented. Electron optical aspects are briefly summarized including the low energy beam formation in a cathode lens equipped column,comparison of the sequential and overlapped electric and magnetic fields in the objective lens, and detection issues including extension to the transmitted electron mode as well as to the multichannel detection of signal sorted according to the polar angle of emission.In addition to the acquisition of contrasts specific for the very low energy range, advantages of detection of electrons backscattered to large angles from the surface normal are demonstrated on selected application examples.