2011
Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness
NEČAS, David; Daniel FRANTA; Vilma BURŠÍKOVÁ a Ivan OHLÍDALZákladní údaje
Originální název
Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness
Autoři
Vydání
Thin Solid Films, Elsevier, 2011, 0040-6090
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.890
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/11:00050721
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
Klíčová slova anglicky
Optical characterisation; Variable angle spectroscopic ellipsometry; Phase-modulated ellipsometry; Non-uniform thin films
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 20. 4. 2012 10:25, Ing. Andrea Mikešková
Anotace
V originále
Ellipsometric formulae for thin films non-uniform in thickness are presented. A general type of thickness nonuniformity is considered and the influence of the varying angle of incidence is taken into account. The presented formulae are applied to the optical characterisation of polymer SiO2-like thin films exhibiting a relatively strong thickness non-uniformity. It is shown that the complete optical characterisation of these polymer thin films can be performed. Thus, the spectral dependences of the optical constants, mean thickness and parameters related to the shape of thickness non-uniformity can be determined.
Návaznosti
| FT-TA5/114, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|