Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by
balanced magnetron sputtering

J 2011

Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

VAŠINA, Petr; Pavel SOUČEK; Tereza SCHMIDTOVÁ; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ et al.

Základní údaje

Originální název

Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

Autoři

VAŠINA, Petr; Pavel SOUČEK; Tereza SCHMIDTOVÁ; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Mojmír JÍLEK; Mojmír Jr. JÍLEK; Jan SCHÄFER a Jiří BURŠÍK

Vydání

Surface & Coatings Technology, Elsevier Science, 2011, 0257-8972

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 1.867

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/11:00049858

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Composite; Mechanical properties; Magnetron; Carbon; Titanium

Štítky

AKR, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 22. 7. 2024 10:18, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.

Anotace

V originále

Nanocrystalline titanium carbide embedded in an hydrogenated amorphous carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) shows high hardness and Young's modulus together with low wear and low friction coefficient. In this paper, we report on the preparation of well adherent nc-TiC/a-C:H coatings ~5 um thick on stainless steel substrates using a well balanced magnetic field configuration and only very low power RF bias on the substrate. Hardness and Young's modulus of these coatings are 43 GPa and 380 GPa, respectively. The mechanical properties – hardness and Young's modulus – measured from the coating's top reach the values obtained at optimized experiments where the unbalanced magnetic field configuration was used. A simple method of depth profiling suitable for evaluation of mechanical properties of several micrometers thick coatings is developed and employed. The paper reports on the depth profile analyses of the coating hardness, Young's modulus, composition and morphology.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV

Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

GD104/09/H080, projekt VaV

Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

GP202/08/P038, projekt VaV

Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

MSM0021622411, záměr

Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Citovat

VAŠINA, Petr; Pavel SOUČEK; Tereza SCHMIDTOVÁ; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Mojmír JÍLEK; Mojmír Jr. JÍLEK; Jan SCHÄFER a Jiří BURŠÍK. Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering. Surface & Coatings Technology. Elsevier Science, 2011, roč. 205, July, s. 53-56. ISSN 0257-8972. Dostupné z: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.038.

@article{944455,
   author = {Vašina, Petr and Souček, Pavel and Schmidtová, Tereza and Eliáš, Marek and Buršíková, Vilma and Jílek, Mojmír and Jílek, Mojmír Jr. and Schäfer, Jan and Buršík, Jiří},
   article_number = {July},
   doi = {https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.038},
   keywords = {Composite; Mechanical properties; Magnetron; Carbon; Titanium},
   language = {eng},
   issn = {0257-8972},
   journal = {Surface & Coatings Technology},
   title = {Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering},
   url = {https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897211001381},
   volume = {205},
   year = {2011}
}

TY  - JOUR
ID  - 944455
AU  - Vašina, Petr - Souček, Pavel - Schmidtová, Tereza - Eliáš, Marek - Buršíková, Vilma - Jílek, Mojmír - Jílek, Mojmír Jr. - Schäfer, Jan - Buršík, Jiří
PY  - 2011
TI  - Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering
JF  - Surface & Coatings Technology
VL  - 205
IS  - July
SP  - 53-56
EP  - 53-56
PB  - Elsevier Science
SN  - 02578972
KW  - Composite
KW  - Mechanical properties
KW  - Magnetron
KW  - Carbon
KW  - Titanium
UR  - https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897211001381
N2  - Nanocrystalline titanium carbide embedded in an hydrogenated amorphous carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) shows high hardness and Young's modulus together with low wear and low friction coefficient. In this paper, we report on the preparation of well adherent nc-TiC/a-C:H coatings ~5 um thick on stainless steel substrates using a well balanced magnetic field configuration and only very low power RF bias on the substrate. Hardness and Young's modulus of these coatings are 43 GPa and 380 GPa, respectively. The mechanical properties – hardness and Young's modulus – measured from the coating's top reach the values obtained at optimized experiments where the unbalanced magnetic field configuration was used. A simple method of depth profiling suitable for evaluation of mechanical properties of several micrometers thick coatings is developed and employed. The paper reports on the depth profile analyses of the coating hardness, Young's modulus, composition and morphology.
ER  -

VAŠINA, Petr; Pavel SOUČEK; Tereza SCHMIDTOVÁ; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Mojmír JÍLEK; Mojmír Jr. JÍLEK; Jan SCHÄFER a Jiří BURŠÍK. Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering. \textit{Surface \&{} Coatings Technology}. Elsevier Science, 2011, roč.~205, July, s.~53-56. ISSN~0257-8972. Dostupné z: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.038.

Přehled o publikaci