a 2011

Reaction of higher harmonic frequencies on thin films

DVOŘÁK, Pavel; Radek ŽEMLIČKA; Vilma BURŠÍKOVÁ; Petr VAŠINA; Jiří ŠPERKA et al.

Základní údaje

Originální název

Reaction of higher harmonic frequencies on thin films

Název česky

Reakce vyšších harmonických frekvencí na přítomnost tenkých vrstev

Autoři

Vydání

Proceedings of ICPIG 2011, 2011

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/11:00050080

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

kapacitně vázané výboje; vyšší harmonické frekvence; depozice

Klíčová slova anglicky

capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; deposition
Změněno: 5. 4. 2012 13:14, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Reaction of higher harmonic frequencies on creation or destruction of thin films.

Česky

Reakce vyšších harmonických frekvencí na vytvoření nebo odleptání tenké vrstvy.

Návaznosti

GA202/07/1669, projekt VaV
Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek