Confidence interval for the distance of two micro/nano
structures and its applications in dimensional metrology

D 2011

Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

WIMMER, Gejza; Karol KAROVIČ; Viktor WITKOVSKÝ a Rainer KÖNING

Základní údaje

Originální název

Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

Název česky

Konfidenční interval pro vzdálenost dvoch mikro/nano struktúr a její aplikace v dimensionální metrologii

Autoři

WIMMER, Gejza; Karol KAROVIČ; Viktor WITKOVSKÝ a Rainer KÖNING

Vydání

Bratislava, Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement, od s. 80-83, 4 s. 2011

Nakladatel

Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10103 Statistics and probability

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/11:00056711

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-969672-4-7

Klíčová slova česky

dĺžkový komparátor;dimensionální metrologie; konfidenční interval

Klíčová slova anglicky

Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals

Štítky

AKR, rivok

Změněno: 2. 4. 2012 20:43, prof. RNDr. Gejza Wimmer, DrSc.

Anotace

ORIG CZ

V originále

We propose a method for computing an approximate (Bonferroni type) confidence interval for the distance of two micro- and/or nanostructures considered in dimensional metrology, e.g. grating lines, using data obtained by a length comparator, which allows to determine the coordinates of the edges, the position and the width of the structure from its photometric profile together with the related uncertainty contributions. The implementation is demonstrated using data obtained by the Nanometer Comparator operated at the PTB Braunschweig, Germany.

Česky

Navrhla se metoda pro výpočet aproximatívního konfidenčního intervalu (Bonferroniho typu) pro vzdálenost dvoch mikro a/anebo nanostruktur při použití údajů dálkového komparátora. Tento postup zabezpečuje určení souřadníc hran, polohy a šířky struktury pomocí jejího fotometrického profilu. Postup je demonstrován na datach z komparátora v PTB Braunschweig v Německu.

Návaznosti

LC06024, projekt VaV

Název: Centrum Jaroslava Hájka pro teoretickou a aplikovanou statistiku

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Centrum Jaroslava Hájka pro teoretickou a aplikovanou statistiku

Citovat

WIMMER, Gejza; Karol KAROVIČ; Viktor WITKOVSKÝ a Rainer KÖNING. Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology. In Ján Maňka, Viktor Witkovský, Milan Tyšler, Ivan Frollo. Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement. Bratislava: Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava, 2011, s. 80-83. ISBN 978-80-969672-4-7.

@inproceedings{978353,
   author = {Wimmer, Gejza and Karovič, Karol and Witkovský, Viktor and Köning, Rainer},
   address = {Bratislava},
   booktitle = {Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement},
   editor = {Ján Maňka, Viktor Witkovský, Milan Tyšler, Ivan Frollo},
   keywords = {Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals},
   language = {eng},
   location = {Bratislava},
   isbn = {978-80-969672-4-7},
   pages = {80-83},
   publisher = {Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava},
   title = {Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology},
   year = {2011}
}

TY  - CONF
ID  - 978353
AU  - Wimmer, Gejza - Karovič, Karol - Witkovský, Viktor - Köning, Rainer
PY  - 2011
TI  - Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology
PB  - Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
CY  - Bratislava
SN  - 9788096967247
KW  - Length Comparator
KW  - Dimensional Metrology
KW  - Confidence Intervals
N2  - We propose a method for computing an approximate (Bonferroni type) confidence interval for the distance of two micro- and/or nanostructures considered in dimensional metrology, e.g. grating lines, using data obtained by a length comparator, which allows to determine the coordinates of the edges, the position and the width of the structure from its photometric profile together with the related uncertainty contributions. The implementation is demonstrated using data obtained by the Nanometer Comparator operated at the PTB Braunschweig, Germany.
ER  -

WIMMER, Gejza; Karol KAROVIČ; Viktor WITKOVSKÝ a Rainer KÖNING. Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology. In Ján Maňka, Viktor Witkovský, Milan Tyšler, Ivan Frollo. \textit{Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement}. Bratislava: Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava, 2011, s.~80-83. ISBN~978-80-969672-4-7.

Přehled o publikaci