J 2003

Hard carbon films: Deposition and diagnostics

FRGALA, Zdeněk; Vít KUDRLE; Jan JANČA; Marcel MEŠKO; Marek ELIÁŠ et al.

Základní údaje

Originální název

Hard carbon films: Deposition and diagnostics

Autoři

FRGALA, Zdeněk; Vít KUDRLE; Jan JANČA; Marcel MEŠKO; Marek ELIÁŠ a Jiří BURŠÍK

Vydání

Acta Physica Slovaca, Slovakia, 2003, 0323-0465

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 0.579

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14330/03:00008610

Organizační jednotka

Fakulta informatiky

UT WoS

Klíčová slova anglicky

Diamond; microwave plasma CVD

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 4. 2013 11:24, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Anotace

V originále

We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond film was studied.

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV
Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
ME 367, projekt VaV
Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Přiložené soubory

385.pdf Verze souboru