Diplomová práce

Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji

Plasmachemical deposition diamond films in dual microwave/radio frequency discharge

Bc. Jiří Šperka
Anotace

Tato práce se zabývá depozicí ultrananokrystalických diamantových vrstev na křemík, titan a zlato plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a radiofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Záporné stejnosměrné samopředpětí (metoda BEN), které vzniká díky radiofrekvenčnímu výboji, bylo využito pro počáteční nukleaci …více

Abstract

This thesis deals with the deposition of ultrananocrystalline diamond films by plasma enhanced chemical vapor deposition in conventional bell jar plasma reactor of ASTeX type using dual frequency discharge, microwave (2,45 GHz) and radio frequency (13,56 MHz). The latter discharge, leading to the dc self-biasing of the substrate, was used to initiate diamond nucleation and continued to deposit ultrananocrystalline …více

Klíčová slova
Diamant plazmochemická depozice z plynné fáze UNCD PECVD SLEEM harmonické frekvence plazmatu diamond chemical vapour deposition plasma harmonics
Zadání práce
Bude studována depozice ultrananokrystalických diamantových vrstev (UNCD) v mikrovlnném výboji typu ASTeX kombinovaném s kapacitně vázaným vysokofrekvenčním výbojem. Ultrananokrystalické diamantové vrstvy jsou zajímavé z hlediska své vysoké tvrdosti a relativně malé drsnosti povrchu. Vrstvy připravené na křemíkové substráty v duálním mikrovlnném / vysokofrekvenčním výboji byly již dříve studovány. Tato práce si klade za cíl připravit vrstvy v reaktoru modifikovaném pro pyrometrická měření teploty a pomocí elektrických měření studovat proces nukleace a růstu UNCD vrstev.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
13. 5. 2011 12:31, prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
Plný text práce
28,8 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
17. 6. 2011
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Literatura

  • Diamond films handbook. Edited by Jes Asmussen - D. K. Reinhard. New York: Marcel Dekker, 2002, x, 676. ISBN 0824795776.
  • Tribology of diamond-like carbon films : fundamentals and applications. Edited by Christophe Donnet - A. Erdemir. New York, N.Y.: Springer, 2008, xvi, 664. ISBN 9780387302645.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Jiří Šperka PřF N-FY PLAZ bi331/6
Šperka, J.
12. 5. 2011
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Šperka, J.
12. 5. 2011
Anotace česky annotation.txt
Šperka, J.
12. 5. 2011
Klíčová slova keywords.txt
Šperka, J.
12. 5. 2011
Plný text práce thesis_sperka.pdf
Šperka, J.
12. 5. 2011
posudek_oponent SperkaJancaOponent.doc
Schmidtová, J.
19. 5. 2011

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.