Bakalářská práce

Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu

Simulation of cylindrical probe measurement in RF plasma

Petr Skopal
Anotace

V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell a Monte Carlo.

Abstract

In this thesis we perform the simulations of probe measurements in RF plazma. We study primarily probe current, particle density profiles and potential profiles for different probe voltage and different RF amplitudes in progress of RF period. The motion of particles is solved with methods Particle In Cell and Monte Carlo.

Klíčová slova
Simulace Sondová měření RF plazma Válcová sonda Metoda Particle In Cell Metoda Monte Carlo Simulation Probe measurement Cylindrical probe Particle In Cell method Monte Carlo method
Zadání práce
Sondová měření jsou důležitou diagnostickou metodou ve fyzice plazmatu. Cílem práce bude simulace pohybu nabitých částic v okolí válcové sondy v RF plazmatu. Pohyb nabitých částic v okolí sondy je nutno řešit selfkonzistentně metodou Particle In Cell/Monte Carlo (PIC/MC). Práce bude zaměřena na výpočty sondových proudů a profilů koncentrací nabitých částic v okolí sondy pro různé parametry plazmatu a různé hodnoty RF potenciálu plazmatu. Zejména bude studován vliv RF potenciálu na sondové charakteristiky. Práce je teoretického charakteru a je vhodná pro zájemce s dobrou znalostí programování.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
28. 5. 2018 10:20, prof. RNDr. David Trunec, CSc., učo 1597
Plný text práce
3,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
26. 6. 2018
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. David Trunec, CSc., učo 1597
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

Mgr. Zdeněk Bonaventura, Ph.D., učo 13485
ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Petr Zikán, Ph.D.
abs PřF MU

Literatura

  • TRUNEC, David; Zdeněk BONAVENTURA; Petr ZIKÁN a Jaroslav JÁNSKÝ. PIC/MCC Simulation of Electron and Ion Currents to Spherical Langmuir Probe. Contributions to Plasma Physics. DOI 10.1002/ctpp.201400046, 2015, roč. 55, č. 6, s. 481-493. ISSN 0863-1042. Dostupné z: https://doi.org/10.1002/ctpp.201400046.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.