Disertační práce

Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure

Mgr. Dana Skácelová, učo 106528
Anotace

Tato disertační práce je věnována studiu modifikace polovodičů a jejich oxidů v plazmatu generovaném za atmosférického tlaku. Jako zdroj plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD) buzený za atmosférického tlaku v různých pracovních plynech. Byl zkoumán vliv plazmatu na změnu povrchových vlastností krystalického křemíku a SiO2. V závislosti na době expozice, pracovním plynu …více

Abstract

This thesis is dedicated to the study of modification of semiconductors and their oxides in plasma generated at atmospheric pressure. The plasma modification was carried out using Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge (DCSBD) operating in ambient air and in various gases and their mixtures. The influence of plasma modification on the crystalline silicon surface and silicon dioxide properties were …více

Zadání práce
Práce bude zaměřena zejména na zkoumání možnosti využití nízkoteplotního plazmatu generovaného za atmosférického tlaku pro tvorbu nano-vrstev a nano-povlaku na povrchu různých polymerů ve formě fólií, prášků a textilních vláken. Plazma bude generováno s využitím nových unikátních typů plazmových zdrojů, které jsou dlouhodobě studovány na našem pracovišti mající potenciál pro úspěšnou aplikaci v podmínkách textilního průmyslu. Pozornost bude věnována především pochopení mechanizmu plazmové aktivace nano-vrstev na povrchu různých substrátů, interakci takto plazmatem aktivovaných povrchů s nano-prášky a metodám vytváření nano-vrstev bez použití organických rozpouštědel a jiných enviromentálně problematických chemikálií. Cílem povrchových nano-úprav je získání nových užitkových vlastností výše popsaných substrátů užitečných např. při ochraně životního a pracovního prostředí apod. Součástí práce bude i základní elektrická a optická diagnostika použitého plazmatu a charakterizace připravených vzorků nebo plazmově upravených povrchů pomocí dostupných metod (např. měření kontaktního úhlu, optická a elektronová mikroskopie, mikroskopie atomových sil AFM, infračervená spektroskopie FTIR, indentační metody atd.).
Práce zkontrolována:
5. 11. 2014 10:20, prof. RNDr. Mirko Černák, CSc., učo 54782
Plný text práce
43,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
1. 12. 2014
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Mirko Černák, CSc., učo 54782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. RNDr. Petr Sládek, CSc., učo 1617
KFChOV PdF MU
doc. RNDr. Miroslav Zahoran, CSc.
FMFI, Univerzita Komenského, Bratislava

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.