Závěrečná práce: Mgr. Dana Skácelová, učo 106528: Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure
Disertační práce
Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure
Anotace
Tato disertační práce je věnována studiu modifikace polovodičů a jejich oxidů v plazmatu generovaném za atmosférického tlaku. Jako zdroj plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD) buzený za atmosférického tlaku v různých pracovních plynech. Byl zkoumán vliv plazmatu na změnu povrchových vlastností krystalického křemíku a SiO2. V závislosti na době expozice, pracovním plynu …více
Abstract
This thesis is dedicated to the study of modification of semiconductors and their oxides in plasma generated at atmospheric pressure. The plasma modification was carried out using Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge (DCSBD) operating in ambient air and in various gases and their mixtures. The influence of plasma modification on the crystalline silicon surface and silicon dioxide properties were …více
Zadání práce
5. 11. 2014 10:20, prof. RNDr. Mirko Černák, CSc., učo 54782
Oponenti
FMFI, Univerzita Komenského, Bratislava
Citace dle normy ČSN ISO 690
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Dekontaminační účinky plazmatem aktivovaného plynného média na bakteriální biofilm
Mgr. Eliška Kostrůnková -
Aktivace a čištění skla neizotermickým plazmatem za atmosférického tlaku
Mgr. Slavomír Sihelník, Ph.D., učo 408567 -
Analýza vzorků pomocí hmotnostní spektrometrie s využitím laserové desorpce za účasti povrchu substrátu z porézního redukovaného grafen oxidu
Mgr. František Zelenák, učo 424156 -
Nízkoteplotní modifikace tenkých vrstev TiO2 redukčním plazmatem generovaným při atmosférickém tlaku
Bc. Ondřej Červinka -
Využití atmosférického plazmatu pro modifikaci nanomateriálů na bázi grafen oxidu
Mgr. Pavel Kosík -
Detekce vodíkových radikálů v plazmatu
Mgr. Marek Talába -
Studium rekombinace povrchového náboje v dielektrických bariérových výbojích
Mgr. Tomáš Morávek, Ph.D. -
Studium a porovnání zdrojů atmosférického plazmatu pro povrchovou úpravu materiálů
Bc. Adam Novak, učo 505431




