Bakalářská práce

Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování

Mechanical properties of thin films prepared using reactive magnetron sputtering

Lukáš Zábranský
Anotace

Hlavním cílem této práce je studovat nanoindentační metodou složení nanokompozitních titan-karbidových vrstev a pomocí vhodného modelu odseparovat mechanické vlastnosti vrstev od vlastností substrátu. Tyto vrstvy byly připraveny procesem magnetronového naprašování v atmosféře s příměsí reaktivního acetylenu. V první části jsou rozebrány základní fyzikální principy naprašování a analýzy pomocí nanoindentační …více

Abstract

The main goal of this work is to study the structure of nanocomposite titan-carbide coatings using nanoindentation method and to separate the mechanical properties of coatings from a substrate using a suitable model. These coatings were prepared by the magnetron sputtering process in an atmosphere containing reactive acethylen. The basic physical principles of sputtering and analyzis using a nanoindentation …více

Klíčová slova
tenká vrstva mechanické vlastnosti magnetronové naprašování nanoindentační test thin film mechanical properties magnetron sputtering nanoindentation test
Zadání práce
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev (tvrdost, Yongův modul, lomová houževnatost) jsou určovány indentačnímy testy, při kterých je diamantový hrot vtlačován do testovaného materiálu. Při tomto experimentu je měřena síla, kterou je hrot vtiskován a hloubka vtisku. Interpretace měřených křivek pro objemové materiály je relativně přímočará. Testujeme-li však velmi tenké vrstvy, v měřených závislostech nevystupují jen vlastnosti tenké vrstvy, ale i substrátu, na který je deponována. Cílem této bakalářské práce se připravit metodou reaktivního magnetronového naprašování sadu vrstev stejných vlastností ale různé tloušťky, provést na nich indentační testy a pokusit se pomocí jednoduchého modelu odlišit vlastnosti deponované vrstvy od vlastností substrátu.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
26. 5. 2010 10:11, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
Plný text práce
1,4 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
2. 7. 2010
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

Mgr. Marek Eliáš, Ph.D.
abs PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Lukáš Zábranský PřF B-FY FYZ h05bi/6
Zábranský, L.
17. 5. 2010
Složky
Soubory
Anotace anglicky annotation_english.txt
Zábranský, L.
18. 5. 2010
Anotace česky annotation.txt
Zábranský, L.
18. 5. 2010
Bakalářská práce bakalarska_prace.pdf
Zábranský, L.
18. 5. 2010
Klíčová slova keywords.txt
Zábranský, L.
18. 5. 2010
posudek_oponent Zabransky_posudekOpon_Sobota.doc
Poláček, L.
29. 6. 2010

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.