Diplomová práce

In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování

In-situ study of internal stress in thin films prepared by magnetron sputtering

Bc. Nikola Tulisová
Anotace

Tato diplomová práce se věnuje in-situ měření pnutí v tenkých vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním. Pro toto měření byl použit vícesvazkový optický senzor na měření pnutí (Multibeam optical stress senzor - MOSS). Hlavním cílem bylo propojit teoretické mechismy popisující produkci pnutí s nameřeným vývojem pnutí. Byly deponované jednoduché kovy a to molybdén, tantal, wolfram a měď. Taky …více

Abstract

This thesis is devoted to in-situ stress measurement in thin films prepared by magnetron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to explain stress behavior during thin film growth by theoretical stress generation mechanisms. Molybdenum, tantalum, tungsten, copper and W-B-C were deposited on silicon substrate as reference systems …více

Klíčová slova
Pnutí tenká vrstva magnetrónové naprašování vnútorné napätie magnetrónové naprašovanie stress thin film magnetron sputtering
Zadání práce
Vnitřní pnutí ve vrstvě je jedním z klíčových parametrů určujících její mechanické vlastnosti či adhezi. Úkolem studenta bude pomocí optického systému in-situ určovat z prohnutí substrátu vnitřní pnutí v rostoucí vrstvě připravované pomocí magnetronového naprašování. Student se zaměří jak na počáteční fáze růstu, tak na ustálenou hodnotu pnutí v pozdější fázi depozice. Úkolem studenta bude porozumět a popsat vliv depozičních parametrů na pnutí v rostoucí vrstvě.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 5. 2017 08:10, prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
Plný text práce
6,7 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
15. 6. 2017
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.