Bakalářská práce

Depozice a charakterizace elektrochromního materiálu připraveného magnetronovým naprašováním

Deposition and Characterization of an Electrochromic Material Prepared by Magnetron Sputtering

David Lubojacký
Anotace

Tato bakalářská práce se zabývá studiem vlivu parametrů reaktivního magnetronového naprašování na vlastnosti a mikrostrukturu tenkých vrstev oxidu wolframového (WO3). Experimentální část je rozdělena do tří logických celků: optimalizace frekvence pulzního buzení, regulace průtoku kyslíku a studium vlivu pracovního tlaku v kombinaci s geome trií depozice. Jako optimální pracovní bod byl stanoven průtok …více

Abstract

This bachelor thesis investigates the influence of reactive magnetron sputtering pa rameters on the properties and microstructure of tungsten oxide (WO3) thin films. The experimental work is divided into three logical stages: optimization of the pulsed exci tation frequency, regulation of the reactive oxygen flow rate, and the study of the working pressure in combination with the deposition geometry …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování elektrochromismus tenké vrstvy oxid wolframový morfologie poréznost magnetron sputtering electrochromism thin films tungsten oxide morphology porosity
Zadání práce
Cíl práce:

Cílem bakalářské práce je příprava elektrochromního materiálu ve formě tenké vrstvy metodou magnetronového naprašování a jeho charakterizace pomocí moderních analytických metod. V případě příznivých výsledků bude vrstva dále zakomponována do funkčního elektrochromního zařízení.

Úkoly bakalářské práce:

  1. Prostudovat základní literaturu zaměřenou na elektrochromní materiály a techniky jejich depozice, zejména metodu magnetronového naprašování.

  2. Seznámit se s principy a obsluhou vakuového zařízení pro magnetronové naprašování.

  3. Připravit tenké vrstvy elektrochromního materiálu pomocí magnetronového naprašování.

  4. Provést charakterizaci připravených vrstev pomocí vhodných metod (zejména SEM, XRD a EDX).

  5. Vyhodnotit získané výsledky z hlediska morfologie, struktury a chemického složení vrstev.

  6. V případě příznivých parametrů připravené vrstvy navrhnout a sestavit jednoduché elektrochromní zařízení s touto vrstvou.

  7. Zpracovat výsledky a vypracovat závěrečnou zprávu.

Administrativní informace
Práce zkontrolována:
11. 5. 2026 08:53, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
67,4 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
30. 6. 2026
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

Richard Gaetan Paul Drevet, Ph.D.
prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika – nanotechnologie

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.