Bakalářská práce

Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza

Preparation of Mo2BC type thin films by pulsed magnetron sputtering and their analysis

Stanislava Debnárová, učo 408573
Anotace

Táto práca sa zaoberá prípravou a diagnostikou Mo2BC vrstiev, pripravených magnetrónovým naprašovaním z troch terčov. Bola použitá plazma budená pulzmi, ktorá zvyšovala počet iónov dopadajúcich na substrát, čím sa znížila teplota potrebná na tvorbu kryštalických vrstiev. V práci sa hľadajú optimálne podmienky na depozíciu vzhľadom k maximalizácii toku iónov na substrát a stabilitu procesu. Pri týchto …více

Abstract

This work concentrates on the preparation and diagnosis of Mo2BC thin films prepared by simultaneous magnetron sputtering from three targets. Pusled DC plasma was used, which increased the number of ions impacting on the substrate. That reduced the temperature required for the formation of crystalline coatings. In this work, the optimal deposition conditions with focus on the ion flux to the substrate …více

Zadání práce
Tématem této práce je pomocí současného magnetronového naprašování ze 3 terčů připravit krystalické vrstvy typu Mo2BC. Standardně se tento materiál připravuje stejnosměrným naprašováním za vysoké teploty, hlavním cílem práce je snížit teplotu nutnou pro krystalizaci vrstev zvýšením iontového bombardu vrstev, kterého dosáhneme pulzním buzením plazmatu.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
21. 5. 2015 07:06, prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
Plný text práce
16,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
23. 6. 2015
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Aplikovaná fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.