Bakalářská práce

Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku

Optical characterization of silicon nitride thin films

Martin Málek
Anotace

V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty parametrů teoretického modelu a modelujeme disperzní závislost indexu lomu studovaných vzorků.

Abstract

In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values of optical parameters and model dispersion relation of refractive index.

Klíčová slova
Tenké vrstvy nitrid křemíku optická charakterizace elipsometrie reflektometrie optické konstanty nehomogenita thin films silicon nitride optical characterization ellipsometry reflectometry optical constants inhomogeneity
Zadání práce
Cílem práce je optická chatrakterizace tenkých vrstev nitridu křemíku. To znamená, že budou určeny spektrální závislosti indexu lomu a extinkčního koeficientu a hodnoty tlouštěk těchto vrstev. Vrstvy nitridu křemíku budou připraveny metodou magnetronového naprašování. Pro určení výše zmíněných veličin budou použita měření spektrálních závislostí odrazivosti při téměř kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických parametrů pro více úhlů dopadu světla. Experimentální data budou naměřena v blízké UV, viditelné a blízké IR oblasti. Při vyhodnocení experimentálních dat budou použity jednoduché disperzní modely. V práci bude provedena optická charakterizace vrstev s různými tloušťkami a chemickým složením.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
10. 6. 2019 13:59, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
Plný text práce
1,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
25. 6. 2019
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000
ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

Mgr. Martin Čermák, Ph.D., učo 63855
ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Jiří Vohánka, Ph.D., učo 60662
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.