Bakalářská práce

Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku

Determination of the optical constants and structural parameters of DLC thin films with silicon and oxygen admixtures

Pavlína Kührová, učo 474850
Anotace

V této bakalářské práci se věnujeme určení indexů lomu, extinkčních koeficientů a tlouštěk tenkých Diamond-like carbon vrstev s příměsí křemíku a kyslíku. Zavádíme Fresnelovy koeficienty pro tenkou vrstvu a také teoreticky popisujeme práci přístrojů použitých k měření optických charakteristik zkoumaných vzorků. Ty byly měřeny dvěma metodami, spektroskopickou elipsometrií a spektroskopickou fotometrií …více

Abstract

In this thesis we study the determination of the refractive indices, the extinction coefficients, as well as the thicknesses of diamond-like carbon thin films with silicon and oxygen admixtures. We introduce tne Fresnel's coefficients for thin films and describe basic principles of instruments used for measuring the of optical characteristics of the studied samples. To measure them we used two methods …více

Klíčová slova
tenké vrstvy optická charakterizace spektroskopická elipsometrie spektroskopická fotometrie optické konstanty thin films optical characterization spectroscopic ellipsometry spectroscopic photometry optical constants
Zadání práce
Cílem této práce je určení indexu lomu, extinkčního koeficientu a tloušťky tenkých DLC (Diamond-like Carbon) vrstev s příměsí křemíku a kyslíku. Několik vzorků s různými depozičními parametry bude připraveno pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) na přístrojích Ústavu fyzikální elektroniky. Pro optickou charakterizaci budou použita měření spektrálních závislostí odrazivosti při téměř kolmém dopadu světla a elipsometrických parametrů pro více úhlů dopadu. Měření bude provedeno na zařízeních, která se nachází v optické laboratoři Ústavu fyzikální elektroniky. Experimentální data budou zjišťována pro blízkou UV, viditelnou a blízkou IR oblast. Pro zpracování experimentálních dat bude použit program NewAD2 využívající jednoduché dielektrické modely.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
21. 6. 2021 14:51, Mgr. Martin Čermák, Ph.D., učo 63855
Plný text práce
923,3 KB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
13. 7. 2021
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Martin Čermák, Ph.D., učo 63855
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultant

Mgr. Jiří Vohánka, Ph.D., učo 60662
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Literatura

  • VAŠÍČEK, Antonín. Optika tenkých vrstev. 1. vyd. Praha: Nakladatelství Československé akademie věd, 1956, 354 s.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.