Diplomová práce

Opticé vlastnosti tenkých vrstev nestechiometrického nitridu křemíku připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování

Optical properties of non-stoichioemetric silicon nitride thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Bc. Martin Málek
Anotace

Tato diplomová práce je zaměřena na optickou charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve je uvedena základní teorie chování světla. Následně je prezentován proces přípravy studovaných tenkých vrstev, zároveň s teorií analytických metod využívaných pro studium těchto vrstev. Posléze je uveden přehled teoretických modelů užívaných pro optickou charakterizaci. Závěrem jsou …více

Abstract

In this work an optical characterization of non-stoichiometric silicon nitride thin films is being made. First a basic theory of light is introduced. Then the process of preparation of studied thin films, as well as the theory regarding used methods of optical analysis, is presented. Later the overview of theoretical models, used for the optical characterization, is laid out. Finally experimental data …více

Klíčová slova
Tenké vrstvy nitrid křemíku optická charakterizace elipsometrie reflektometrie spektrofotometrie optické konstanty disperzní relace nehomogenita anizotropie univerzální disperzní model thin films silicon nitride optical characterization ellipsometry reflectometry spectrophotometry optical constants dispersion relation inhomogeneity anisotropy universal dispersion model.
Zadání práce
Cílem této diplomové práce je charakterizace optických vlastností tenkých vrstev nestechiometrického nitridu křemíku (SiNx) připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování na podložky z monokrystalu křemíku v závislosti na technologických podmínkách jejich přípravy. V rámci přípravy těchto vrstev bude měněn průtok dusíku, teplota podložky a velikost předpětí. Budou srovnány hodnoty optických konstant SiNx vrstev určené na základě několika dispersních modelů pro spektrální rozsah tvořeným blízkou infračervenou , viditelnou a ultafialovou oblastí. Na základě dosažených výsledků bude nalezen optimální dispersní model pro tuto oblast. Optimální model bude rozšířen do vzdálenější infračervené oblasti. Strukturní model SNx vrstev započítá i defekty vrstvy jako náhodnou drsnost horních rozhraní a mezivrstvy mezi podložkou z krystalického křemíku a studovanými vrstvami. Optická charakterizace bude provedena pro homogenní i nehomogenní vrstvy SNx.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
17. 5. 2022 09:25, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
Plný text práce
7,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
3. 6. 2022
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc., učo 2397
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Jan Dvořák, Ph.D.
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

Mgr. Martin Čermák, Ph.D., učo 63855
abs PřF MU
Mgr. Jiří Vohánka, Ph.D., učo 60662
OTVPPL ÚFTP Fyz PřF MU

Literatura

  • VAŠÍČEK, Antonín. Optika tenkých vrstev. 1. vyd. Praha: Nakladatelství Československé akademie věd, 1956, 354 s.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu a nanotechnologií

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.