Disertační práce

Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films.

Mgr. Přemysl Maršík, učo 13477
Anotace

Disertace pokrývá dvě blízká témata: elipsometrickou metodologii a studium tenkých dielektrických vrstev. Tato práce zahrnovala i rekonstrukci elipsometru a vývoj potřebného softwaru pro zpracování a analýzu dat. V první části zopakujeme nezbytné teoretické základy a popíšeme základní elipsometrické konfigurace. Věnujeme se dvěma elipsometrickým konfiguracím: elipsometrii s rotačním analyzátorem (RAE …více

Abstract

Thesis covers two related topics: ellipsometric methodology and studies of dielectric thin films. The work included reconstruction on an ellipsometric instrument and development of the necessary data acquisition and analysis software. In the first part, the necessary theoretical background is reviewed and the basic ellipsometric configurations are described. We focus on two ellipsometric configurations …více

Klíčová slova
elipsometrie tenké vrstvy rotační kompenzátor low-k dielektrika porozita elipsometrická porozimetrie UV-kůra zbytkový porogen plazmové poškození ellipsometry thin films rotating compensator low-k dielectrics porosity ellipsometric porosimetry UV-cure porogen residue plasma damage
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
7. 9. 2009 08:52, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc., učo 307
Plný text práce
10,1 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
21. 10. 2009
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc., učo 307
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponenti

Ing. Alexandr Dejneka, Ph.D.
Fyzikální ústav AV ČR Praha
Mgr. Adam Dubroka, Ph.D.
University of Fribourg, Switzerland
Autor posudku dosud neidentifikován.
Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.