Disertační práce

Study of PVD process driven by high power pulses

Mgr. Peter Klein, učo 269740
Anotace

Tato práce se zabývá procesy související s depozicí tenkých vrstev metodou magnetronového naprašovaní pulzy vysokého výkonu (HiPIMS). Práce se zaměřuje na popis dvou procesů; prvním jsou oscilace detekované během pulzů na časových průbězích ka\-to\-do\-vé\-ho napětí a výbojového proudu, druhým jsou ionizační zóny, nebo spoky, do kterých se výboj sám uspořádá po dobu pulzu. Oscilace pozorovány na průběhu …více

Abstract

This work is dedicated to the study of the processes accompanying the thin film deposition using the high-power impulsed magnetron sputtering (HiPIMS). Two types of processes are discussed within the thesis; the first are the oscillations detected on the temporal evolution of cathode voltage and discharge current during the pulse and the second are ionisation zones, or spokes into which plasma self …více

Klíčová slova
Magnetron Naprašovaní HiPIMS Tenké vrstvy Spoky Sputtering Thin films Spokes
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 8. 2017 08:52, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
73,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
22. 9. 2017
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Fakulta aplikovaných věd ZČU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.