Diplomová práce

Řízení ionizačních center počas výboje buzeného pulzy vysokého výkonu

Controlling of spokes during High Power Impulse Magnetron Sputtering discharge

Bc. Terézia Halamová
Anotace

Jednou z metod depozice z plynné fáze, která se vyznačuje tvorbou vysoce kvalitních tenkých vrstev, je magnetronové naprašování pulzy vysokého výkonu, též známé jako HiPIMS. Ve výboji je možné pozorovat rotující nestability, známé jako ionizační centra nebo spoky, do nichž se plazma samovolně uspořádává. Vliv ionizačních center na vlastnosti tenkých vrstev je dosud neprozkoumán. V této práci jsme se …více

Abstract

One of the many methods of physical vapour deposition known for creating high-quality thin films is High Power Impulse Magnetron Sputtering, or HiPIMS. It is possible to observe rotating instabilities in the HiPIMS discharge, known as ionisation zones or spokes, into which the plasma is spontaneously organised. The effect of ionisation zones on the properties of thin films is still not properly investigated …více

Klíčová slova
HiPIMS magnetrónové naprašovanie magnetron sputtering PVD ionizačné centrá ionization zones spoky spokes
Zadání práce
Ionizačné centrá alebo spoky sú útvary, do ktorých sa výboj magnetrónového naprašovania budený pulzmi vysokého výkonu (HiPIMS) sám usporiada. Cieľom diplomovej práce je pomocou pridaného elektrického poľa alebo lokálne zvýšeného odporu externe ovplyvniť vlastnosti týchto ionizačných centier, a ak to je možné, tak zamedziť ich tvorbe. Na pozorovanie týchto efektov študent použije sondovú a optickú diagnostiku plazmy.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
6. 5. 2025 12:05, Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
Plný text práce
73,1 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
11. 6. 2025
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultant

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu a nanotechnologií

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.