Disertační práce

Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process

Mgr. Katarína Bernátová
Anotace

Tato práce studuje magnetronové naprašování buzené pulzy velkého výkonu (HiPIMS), což je technika naprašování tenkých vrstev za účasti iontů materiálu tvořícího vrstvu. Ionizované rozprášené částice představují důležitý druh částic v HiPIMS výboji. Přidáním reaktivního plynu do procesu lze vyvinout nové materiály. Pro pochopení a zlepšení tohoto prostorově a časově závislého procesu se provádí diagnostika …více

Abstract

This thesis studies the high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) as a metal ion-assisted thin film deposition technique. The ionised sputtered particles represent the crucial film-forming species in the HiPIMS discharge. By adding the reactive gas into the process, novel materials can be developed. In order to understand and improve this spatially and temporally dependent process, the diagnostic …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování diagnostika plazmatu HiPIMS koncentrace rozprášených částíc stupeň ionizace reaktivní HiPIMS magnetron sputtering plasma diagnostic sputtered species number density ionisation fraction reactive HiPIMS
Zadání práce
Cílem práce je vývoj a studium reaktivního HIPIMS procesu, kdy je magnetronová katoda buzena pulzy velkého výkonu (HIPIMS) a kdy je rostoucí vrstva silně bombardována ionty rozprášeného materiálu. Koncentrace rozprášených častíc je časově a prostorově závislá na parametrech procesu. Proces bude studován zejména časově rozlišenou spektroskopií, kdy k vyhodnocení dat bude použita samoabsorpční metoda a metoda efektivních větvících poměrů k určení časového vývoje koncentrace atomů a iontů rozprášených častíc, proměřením toku rozprášených atomů a iontů a toku energie na substrát.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
25. 4. 2022 09:07, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
93,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
14. 6. 2022
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. Ing. Tomáš Kozák, Ph.D.
Fakulta aplikovaných věd ZČU, Plzeň
prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
ext PNB ÚFTP Fyz PřF MU, MFF UK

Konzultanti

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.