Závěrečná práce: Tomáš Rada, učo 484866: Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Bakalářská práce
Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Preparation of coatings by multipulse operation of High Power Impulse Magnetron Sputtering and their analysis
Anotace
V této práci se věnujeme analýze a depozici tenkých vrstev titanu v nereaktivním plazmatu pomocí různých metod založených na magnetronovém naprašování se speciálním důrazem na multipulzní mód magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu. Jedná se o pokročilou metodu fyzikální depozice z plynné fáze produkující vrstvy s vysokou kvalitou. Výše zmíněnou depoziční metodu zde porovnáváme s lépe popsaným …více
Abstract
In this thesis, we study the deposition of the titanium thin film in inert gas plasma using a variety of methods based on magnetron sputtering with an emphasis on multi-pulse High Power Impulse Magnetron Sputtering. This is an advanced method of physical vapour deposition producing high quality films. We compare this method to the better described direct current magnetron sputtering and standard single …více
Zadání práce
15. 6. 2021 20:22, prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
Citace dle normy ČSN ISO 690
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Studium PVD procesu buzeného standardním a multipulzním módem magnetronového naprašování pulzy velkého výkonu
Mgr. Martin Ondryáš, učo 484247 -
Charakterizace TiAlON povlaků připravených technikou magnetronového naprašování buzeného pulzy velkého výkonu
Bc. Jakub Motl -
Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265 -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Mgr. Katarína Bernátová, Ph.D. -
Příprava Ta-B-C vrstev a studium jejich korozních vlastností
Mgr. Maroš Polaček -
Studium provenience mramorů používaných při výrobě historických stavebních materiálů
Mgr. et Mgr. Elena Vaníčková -
Vliv toxických nanočástic na živočišné tkáně
Mgr. Jan Vysloužil, Ph.D. -
Materiálový průzkum artefaktů Benátské bible a studium změn barevnosti vlivem umělého stárnutí
Mgr. Veronika Slachová




