Bakalářská práce

Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu

Preparation of coatings by multipulse operation of High Power Impulse Magnetron Sputtering and their analysis

Tomáš Rada, učo 484866
Anotace

V této práci se věnujeme analýze a depozici tenkých vrstev titanu v nereaktivním plazmatu pomocí různých metod založených na magnetronovém naprašování se speciálním důrazem na multipulzní mód magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu. Jedná se o pokročilou metodu fyzikální depozice z plynné fáze produkující vrstvy s vysokou kvalitou. Výše zmíněnou depoziční metodu zde porovnáváme s lépe popsaným …více

Abstract

In this thesis, we study the deposition of the titanium thin film in inert gas plasma using a variety of methods based on magnetron sputtering with an emphasis on multi-pulse High Power Impulse Magnetron Sputtering. This is an advanced method of physical vapour deposition producing high quality films. We compare this method to the better described direct current magnetron sputtering and standard single …více

Zadání práce
Magnetronové naprašování pulzy vysokého výkonu je moderní ještě ne zcela prozkoumanou metodou přípravy tenkých povlaků. Oproti standardnímu stejnosměrnému magnetronovému naprašování jsou výkonové pulzy koncentrované jen do malé části celkové doby rozprašování. Střída je typicky v jednotkách procent. Tímto lze dosáhnout koncentrace plazmatu o dva řády větší, než je běžné u stejnosměrného magnetronového naprašování. To nám zvýší i ionizaci rozprašovaného materiálu z nízkých jednotek až do vysokých desítek procent dle daného materiálu a parametrů pulzu. Nedávno bylo ukázáno, že seřazením pulzů vysokého výkonu do balíčků, ve kterých je několik pulzů zařazeno blízko za sebe, je možná nejen dále zvětšit ionizaci rozprášených částic, ale zároveň i zvýšit depoziční rychlost povlaků. Tím je ovlivněna i mikrostruktura naprašovaného povlaku. Cílem této práce je zvolit vhodný materiál a vhodné parametry pulzu vysokého výkonu, připravit povlaky s různými pulzními balíčky a systematicky studovat vliv tvaru balíčku na depoziční rychlost, morfologii a mikrostrukturu deponovaného materiálu. Další informace o výzkumné skupině jsou na http://pvdlab.cz/
Práce zkontrolována:
15. 6. 2021 20:22, prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
Plný text práce
23 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
6. 9. 2021
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
PNB ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Ing. Ondřej Zindulka

Konzultanti

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.