Bakalářská práce

Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu

Visualization of the ionization center during high power pulse magnetron sputtering

Marta Šlapanská
Anotace

Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly pozorovány pomocí rychlé kamery. Byla navrhnuta metodika zpracování vyfotografovaných snímků, pomocí které …více

Abstract

This thesis was dedicated to the visualization of the ionization center (spokes) during high power pulse magnetron sputtering. In this thesis the basic principle of several methods of sputtering thin films is described. Spokes were studied using fast camera. Methodology of processing of the images was designed. By this methodology the number and speed of spokes was determined. The influence of the magnetic field on the number and speed of spokes was studied.

Klíčová slova
plazma magnetronové naprašování HiPIMS ionizační zóny spoky
Zadání práce
Nedávno bylo pozorováno, že při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu není plazma rovnoměrně distribuováno nad terčem. Místo toho pozorujeme oblasti plazmatu s větší a menší intenzitou. Oblasti s větší intenzitou se nazývají ionizační centra. Cílem této práce je vizualizace těchto ionizačních center. Pro toto studium bude použita rychlá kamera.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
22. 5. 2015 10:25, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
Plný text práce
1,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
23. 6. 2015
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.