Bachelor's thesis

Visualization of the ionization center during high power pulse magnetron sputtering

Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu

Marta Šlapanská
Abstract

Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly pozorovány pomocí rychlé kamery. Byla navrhnuta metodika zpracování vyfotografovaných snímků, pomocí které …more

Abstract

This thesis was dedicated to the visualization of the ionization center (spokes) during high power pulse magnetron sputtering. In this thesis the basic principle of several methods of sputtering thin films is described. Spokes were studied using fast camera. Methodology of processing of the images was designed. By this methodology the number and speed of spokes was determined. The influence of the magnetic field on the number and speed of spokes was studied.

Keywords
plazma magnetronové naprašování HiPIMS ionizační zóny spoky
Thesis description
Nedávno bylo pozorováno, že při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu není plazma rovnoměrně distribuováno nad terčem. Místo toho pozorujeme oblasti plazmatu s větší a menší intenzitou. Oblasti s větší intenzitou se nazývají ionizační centra. Cílem této práce je vizualizace těchto ionizačních center. Pro toto studium bude použita rychlá kamera.
Administrative information
The thesis has been checked:
22/5/2015 10:25, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., UČO 106259
Full text of thesis
1,9 MB / file PDF
Language used
Czech Czech
Defence date
23/6/2015
The thesis was defended successfully

Supervisor

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., UČO 106259
ÚFTP Fyz PřF MU

Reader

The author of the thesis report has not been identified yet.

Consultant

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., UČO 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Cite this text
Masaryk University Faculty of Science
Programme
Physics
Field of Study

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.

Similar documents

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.