Disertační práce

Plazmochemická příprava ternárních vrstev karbidů a jejich charakterizace

Plazmachemical preparation of ternary carbide coatings and their characterization

Mgr. Josef Daniel, učo 269028
Anotace

Předkládaná práce je zaměřena na výzkum možností řídit strukturu a fázové složení nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev za účelem optimalizace jejich mechanických vlastností. Vrstvy, o kterých tato práce pojednává, byly připraveny hybridním PVD-PECVD procesem odprašování kovového terče v atmosféře ze směsi argonu a acetylenu. Jedním z parametrů, který během růstu nanokompozitní vrstvy ovlivňuje její …více

Abstract

This work is focused on the research of the possible ways to design the structure as well as the phase composition of the nanocomposite nc-TiC/a-C:H coatings in order to improve their mechanical properties. All of the presented coatings were prepared by hybrid PVDPECVD process of sputtering of a metal target in argon/acetylene atmosphere. Energy of impacting particles is parameter which can affect …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování hybridní PVD-PECVD proces HiPIMS nanokompozity karbidy tenké vrstvy mechanické vlastnosti
Zadání práce
Cílem práce je návrh a realizace plazmochemických depozic (multi)funkčních nanostrukturovaných a nanokompozitních materiálů na bázi karbidů se zvýšeným obsahem uhlíku. Student naváže na úspěchy pracoviště s přípravou n-TiC/a-C:H vrstev hybridním PVD-PECVD procesem a prostuduje možnosti cíleně zlepšit některé vlastnosti těchto vrstev přidáním třetího prvku - např. Si, Cr, Ni apod. případně připraví vrstvy TiC/C obdobných vlastností PVD procesem současným odprašováním z několika terčů. Student prostuduje složení těchto vrstev, jejich strukturu, mechanické vlastnosti a adhezi k různým druhům substrátu.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
16. 3. 2017 09:21, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
39,1 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
12. 5. 2017
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

doc. RNDr. František Lofaj, DrSc.
Ústav materiálového výskumu SAV
Ing. Katalin Balázsi, Ph.D.
Institute of Technical Physics and Materials Science, Hungarian Academy of Sciences

Konzultanti

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
ÚFTP Fyz PřF MU
Jüri Raud, PhD.
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.