Bakalářská práce

Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje

Deposition of nitrogen doped thin films using plasma of radiofrequency glow discharges

Roman Přibyl
Anotace

Práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev. Organosilikonové vrstvy byly připraveny pomocí plazmatem asistované depozice z plynné fáze za použití kapacitně vázaného radiofrekvenčního výboje. Vrstvy se deponovaly v atmosféře složené z hexamethyldisiloxanu a dusíku. Po depozici byly vrstvy vystaveny laboratorním podmínkám, při kterých byla studována jejich stabilita. Mechanická stabilita …více

Abstract

This study is focused on preparation and analysis of thin films. Organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges. Thin films were deposited in mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and nitrogen. After the deposition the films were exposed to the laboratory environment and their environmental stability was studied …více

Zadání práce
Předmětem práce je vývoj tenkých vrstev s využitím plazmatu nízkotlakého doutnavého výboje ze směsí organosilikonů s dusíkem anebo s oxidem dusným. Bude provedena rozsáhlá diagnostika mechanických vlastností použitím nanoindentace a nanotribologie s cílem nalezení korelace mezi mechanickými vlastnostmi (tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, adheze, vnitřní pnutí, viskoelastické vlastnosti, otěruvzdornost atd. se strukturou a charakteristikami výboje. Budou identifikovány základní faktory a mechanismy ovlivňující růst a vlastnosti vrstev na různých typech substrátů. V rámci této práce student získá hlubší znalosti technologie přípravy vrstev, ale i jejich charakterizace (strukturální, optické, mechanické atd.). Orientace tématu mu pak umožní buď dále pokračovat ve vědecké kariéře nebo se uplatnit v průmyslu, kde jsou odborníci s těmito znalostmi stále žádaní, neboť tato technologie se již částečně v průmyslu používá, ale je stále spojena s nově se objevujícími problémy, a tedy vyžaduje i další základní a průmyslový výzkum.
Práce zkontrolována:
28. 5. 2018 07:24, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
Plný text práce
7 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
22. 6. 2018
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
KFChOV PdF MU

Konzultant

Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D., učo 376143
ÚFTP Fyz PřF MU

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.