Závěrečná práce: Roman Přibyl: Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje
Bakalářská práce
Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje
Deposition of nitrogen doped thin films using plasma of radiofrequency glow discharges
Anotace
Práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev. Organosilikonové vrstvy byly připraveny pomocí plazmatem asistované depozice z plynné fáze za použití kapacitně vázaného radiofrekvenčního výboje. Vrstvy se deponovaly v atmosféře složené z hexamethyldisiloxanu a dusíku. Po depozici byly vrstvy vystaveny laboratorním podmínkám, při kterých byla studována jejich stabilita. Mechanická stabilita …více
Abstract
This study is focused on preparation and analysis of thin films. Organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges. Thin films were deposited in mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and nitrogen. After the deposition the films were exposed to the laboratory environment and their environmental stability was studied …více
Zadání práce
28. 5. 2018 07:24, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
- Zadáno/změněno 25. 6. 2018 13:54, Irena Mitášová
- Záznam založen 9. 3. 2018 13:17, Irena Mitášová
- Zveřejnit od 24. 5. 2018 09:41, Irena Mitášová
- Práce převzata 24. 5. 2018 09:41, Irena Mitášová
Konzultant
Citace dle normy ČSN ISO 690
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Nanášení tenkých vrstev na bázi sloučenin boru plazmovými tryskami
Mgr. Barbora Mayer, Ph.D., učo 324310 -
Plazmochemická příprava ternárních vrstev karbidů a jejich charakterizace
Mgr. Josef Daniel, Ph.D., učo 269028 -
Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation
prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085 -
Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti
Mgr. Pavel Ondračka, Ph.D., učo 324363 -
Příprava ochranných vrstev na polymerní materiály metodou plazmochemické depozice
Mgr. Lukáš Kelar -
Studium mechanických vlastností tenkých vrstev
Mgr. Tomáš Novotný -
Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji
Mgr. Václav Pekař, učo 175319 -
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Mgr. Jan Čupera




