Disertační práce

Development and study of hybrid PVD-PECVD process

Mgr. Tereza Schmidtová, učo 151253
Anotace

Tato práce se věnuje studiu hybridního PVD-PECVD procesu titanového naprašování v atmosféře obsahující argon a acetylen. PVD část tohoto depozičního procesu je fyzikální rozprašování kovového terče. PECVD část je schopnost fragmentů acetylenu chemicky reagovat v plazmatu a na površích reaktoru (včetně terče i substrátu) i s nimi samotnými. Tento hybridní depoziční proces byl studován experimentálně …více

Abstract

This work studies the hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere. The PVD aspect of this deposition process is the physical process of metal target sputtering. The PECVD aspect of this process is the ability of the acetylene fragments to chemically interact in plasma volume and at/with surfaces, including the target and the substrate. This hybrid deposition process …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování reaktivní rozprašování hysterezní chování hybridní PVD-PECVD proces Bergův model model hybridního PVD-PECVD procesu tenké vrstvy nanokompozity nc-TiC/a-C:H magnetron sputtering reactive sputtering hysteresis behavior hybrid PVD-PECVD process Berg's model model of hybrid PVD-PECVD thin film coatings nanocomposites
Zadání práce
Cílem práce je vývoj a studium hybridního depozičního procesu kombinujícího PVD a PECVD techniky. Vhodné nastavení experimentálních podmínek umožnuje současně využít výhod obou z kombinovaných technik. Magnetronové naprašování bude realizováno v netradiční směsi reaktivních plynů (např. Ti-O2+H2, Ti-C2H2+N2 atd). Chování tohoto depozičního procesu bude studováno jak experimentálně (s využitím zavedených diagnostických metod) tak i teoreticky (rozšířením stávajících modelů).
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
10. 12. 2021 15:27, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
14,7 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
18. 1. 2022
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponenti

Dr. Katalin Balázsi
Centre for Energy Research (EK), Budapest
doc. RNDr. František Lofaj, DrSc.
Ústav materiálového výskumu SAV

Konzultanti

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
DMP ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Marek Eliáš, Ph.D.
abs PřF MU
prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414
ÚFKL Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.