Bakalářská práce

Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu

Global plasma models for reactive magnetron sputtering in argon, nitrogen and acetylene

Kristína Tomanková
Anotace

Cílem této práce je vyvinout globální model ke studiu reaktivního mag-netronového naprašování v argonovo-acetylenovém plasmatu. Model je založen na existujícím argonovém modelu s přidáním acetylenové kinetiky. Za pomoci existujícího dusíkového globálního modelu je porovnán vliv přidávaní acetylenu do komory s vlivem přidávaní dusíku. Následně je zkoumán vliv různých parametrů na plasmový výboj pomocí …více

Abstract

The aim of this thesis is to develop a global model to study reactive magnetron sputtering in argon/acetylene plasma. The model is based on an existing argon model with addition of acetylene kinetics. The effect of adding acetylene to the chamber is compared to the effect of adding nitrogen using an existing nitrogen global model. Numerous parametric studies are then performed using the acetylene global …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování reaktivní magnetronové naprašování argon acetylen plasmový výboj globální model parametrická studie magnetron sputtering reactive magnetron sputtering acetylene plasma discharge global model parametric study
Zadání práce
Tzv. reaktivní magnetronové naprašování se využívá pro přípravu tenkých vrstev s unikátními funkčními vlastnostmi v automobilovém, strojírenském, optickém nebo polovodičovém průmyslu. Fyzikálně se nicméně jedná o velice nelineární proces, který má často pro danou konfiguraci dvě řešení (tzv. hysterezní chování mezi metalickým a otráveným režimem). Velmi dobrým nástrojem pro studium tohoto hysterezního chování jsou takzvané globální modely plazmatu, které dokážou toto chování popsat soustavou silně nelineárních obyčejných diferenciálních rovnic. Tyto rovnice v soubě musí zahrnout plazmovou reakční kinetiku, transport, ale také aktuální stav povrchů (tzv. otrávení terče a vzorků). Student vyjde z globálního modelu plazmatu v argonu, kryptonu a dusíku a prozkoumá, jak se mění dynamika rozprašování terče pro různé poměry těchto plynů. Dále student tento model upraví pro směs argonu a acetylenu a porovná chování obou těchto procesů. Procesy s acetylenem jsou v současné době velmi žádané pro přípravu karbidů a kovem-dopovaných DLC vrstev (diamantu podobný uhlík). Studentovi bude za účelem vypracování práce poskytnuta licence software PlasmaSolve GlobalModel. Práce bude vypracována v anglickém jazyce.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
17. 6. 2021 09:48, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Plný text práce
2,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
13. 7. 2021
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
DMP ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Pedro Arsénio Nunes Aleixo Viegas, PhD.

Konzultant

Mgr. Kryštof Mrózek
stud PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.