Diplomová práce

Studium struktury nanolaminátních tenkých vrstev tvořených kovem, uhlíkem a bórem připravených v průmyslových depozičních podmínkách

Structure of nanolaminated coatings containing metal, boron and carbon prepared at industrial deposition conditions

Bc. Pavol Matej
Anotace

Táto práce se zabývá přípravou a analýzou tenkých vrstev připravených magnetronovým naprašováním. Pomoci ab initio výpočtů bylo předpovězeno, že skupina materiálů tvořená přechodným kovem, bórem a uhlíkem tvořící nanolaminátní krystalickou strukturu by mohla vykazovat vysokou tvrdost a zároveň zvýšenou lomovou houževnatost. Cílem práce byla depozice tenkých vrstev WBC a TaBC s různou stechiometrií …více

Abstract

This thesis is focused on synthesis and analysis of thin films prepared by magnetron sputtering. Based on ab initio calculations, thin films composed of transition metal, boron and carbon with nanolaminate crystal structure should exhibit high hardness and fracture resistance. For purpose of this study, thin films of composition WBC and TaBC were prepared by non-reactive DC magnetron sputtering. Chemical …více

Klíčová slova
magnetronové naprašování tenké vrstvy magnetron sputtering thin films WBC TaBC
Zadání práce
Cílem této práce je experimentální příprava tenkých vrstev tvořených kovem, borem a uhlíkem s využitím průmyslového experimentálního zařízení zapůjčeného Masarykově univerzitě firmou SHM Šumperk. Student připraví v rámci své diplomové práce sérii vzorků s rozdílným chemickým složením a pomocí difrakce rentgenového záření prověří, zda je v připravených vzorcích přítomna krystalické fáze, provede její identifikaci a zejména prověří zda naměřené píky v difraktogramu odpovídají předpovězené nanolaminátní struktuře. Budou studovány dva nanolaminátnívsystémy (WBC a TaBC) a výsledky budou vzájemně porovnány. Student proměří fázové složení deponovaných vrstev v závislosti na jejich chemickém složení. U vybraných povlaků toto měření doplní charakterizací vazeb metodou XPS, případně TEM s vysokým rozlišením.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
9. 6. 2021 09:34, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
36,4 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
29. 6. 2021
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Vjačeslav Sochora, Ph.D.
Super hard materials

Konzultant

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika plazmatu a nanotechnologií

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.