Bakalářská práce

Diagnostika ionizačních center v HiPIMS výboji

Diagnostics of ionization center in HiPIMS discharge

Peter Burda, učo 484781
Anotace

Táto práca sa venuje diagnostike vysoko výkononného impulzného naprašovacieho magnetronového výboja (HiPIMS), ktorá je zameraná na priestorovo rozlíšenú optickú emisnú spektroskopiu a na záznam pomocou vysokorýchlostnej ICCD kamery. HiPIMS výboj sa z pozorovaní vyznačuje azitmutálne nehomogénnými zónami zvýšenej svetelnej intenzity. Tieto nehomogenity so zvýšenou svetelnou intenzitou nazývame ionizačné …více

Abstract

This thesis is dedicated to non-invasive single-shot spatial-resolved optical emission spectroscopy of high power impulse magnetron sputtering discharge (HiPIMS) with ICCD high-speed camera records. It is known that HiPIMS discharge is distinguished with azimuthally inhomogeneous zones of enhanced luminous intensity. These inhomogeneities are called ionization zones or spokes. At the beginning of the …více

Klíčová slova
HiPIMS ionizačné zóny spoky magnetrónové naprašovanie PVD plazma OES vysokorýchlostná kamera ionization zones spokes magnetron sputtering plasma high-speed camera
Zadání práce
Při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu (HiPIMS) není plazma vždy rovnoměrně rozloženo nad terčem. Můžeme pozorovat oblasti s větší intenzitou plazmatu, které se nazývají ionizační centra tzv. spokes. Cílem práce bude prostorově rozlišená diagnostika ionizačního centra pomocí opticko-emisní spektroskopie a případně i rychlé kamery.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
30. 5. 2022 06:38, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
Plný text práce
24,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
27. 6. 2022
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D., učo 8533

Konzultanti

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika – nanotechnologie

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.