Diplomová práce

Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center

Study of properties of non-reactive HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones

Bc. Marta Šlapanská
Anotace

Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center, také označovaných jako spoky. Pro zpracování snímků bylo nutné spoky roztřídit do několika …více

Abstract

This master thesis studies properties of non-reactive magnetron sputtering in a HiPIMS discharge in three different magnetic fields. Different magnetic field strength was achieved by using titanium targets of three different heights. The sputtering process was studied in presence and absence of moving ionization zones, so-called spokes. It was necessary to categorize spokes into several types according …více

Klíčová slova
nereaktivní magnetronové naprašování spoky ionizační zóny magnetické pole diagnostika plazmatu non-reactive magnetron sputtering spokes ionization zones magnetic field plasma diagnostics
Zadání práce
Cílem práce je studium pohybujících se ionizačních center tzv. spokes při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu za použití terčů různých materiálů. Student prověří vliv magnetického pole na chování těchto center. Dále se bude zabývat studiem přechodu plazmatu od ionizačních center k homogennímu rozložení.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 5. 2017 08:05, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
Plný text práce
12,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
15. 6. 2017
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultanti

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.