Bakalářská práce

Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj

Effect of target topography on spoke behavior in HiPIMS discharge

Terézia Halamová
Anotace

Magnetrónové naprašovanie pulzmi vysokého výkonu (HiPIMS) je jednou z metód fyzikálnej depozície z plynnej fázy, ktorá sa vyznačuje vysokou kvalitou deponovaných tenkých vrstiev. V plazme výboja je možné pozorovať samovoľný vznik nestabilít, bežne zvaných ionizačné centrá alebo spoky. V tejto práci sa zaoberáme vplyvom topografie terča na spoky v nereaktívnej atmosfére HiPIMS výboja. Rozličná topografia …více

Abstract

High-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a physical vapour deposition method capable of depositing high-quality thin films. The spontaneous formation of instabilities, commonly called ionization zones or spokes, can be observed in the discharge plasma. In this work, we investigate the effect of target topography on spokes in the non-reactive atmosphere of a HiPIMS discharge. Different target …více

Klíčová slova
HiPIMS magnetrónové naprašovanie PVD ionizačné centrá spoky magnetické pole magnetron sputtering ionisation zones spoke magnetic field
Zadání práce
Student se obeznámí se studiem ionizačních center v nereaktivní atmosféře během výboje buzeného pulzy velkého výkonu (HiPIMS). Pomocí rychlé kamery bude sledovat charakteristiky těchto ionizačních zón při různých topografiích terče. Na tuto bakalářskou práci bude možné navázat prací diplomovou.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
25. 5. 2023 10:48, Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
Plný text práce
42 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
27. 6. 2023
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Martina Mrkvičková, Ph.D., učo 376131
DMP ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
PNB ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika – nanotechnologie

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.