Bakalářská práce

Studium ionizace při současném odprašování dvou kovů metodou HiPIMS

Investigating the ionization of sputtered species during the simultaneous sputtering of two metals using HiPIMS

Gergely Lelovics
Anotace

V této bakalářské práci se zabýváme depozicí tenkých vrstev Al, Cr a slitin AlCr a mírou ionizace rozprašovaných částic. Depozice probíhaly v nereaktivní atmosféře za sníženého tlaku. Při magnetronovém naprašování buzeným pulsy vysokého výkonu porovnáváme míru ionizace a depoziční rychlost při různých parametrech výboje. Měřeny byly závislosti ionizace na délce pulsu a na maximálním proudu v pulzu …více

Abstract

In this bachelor's thesis, we deal with the deposition of thin layers of Al, Cr and AlCr alloys and the ionization rate of sputtered particles. The depositions were carried out in a non-reactive atmosphere under low pressure. In magnetron sputtering excited by high-power pulses, we compare the ionization rate and deposition rate at different discharge parameters. The dependences of ionization on the …více

Klíčová slova
HiPIMS QCM ionizace naprašování chróm hliník ionization sputtering chromium aluminium
Zadání práce
Při magnetronovém naprašování buzeném pulzy vysokého výkonu dochází k zvýšené ionizaci rozprášených částic z terče. Cílem této práce je posoudit, do jaké míry jsou rozprášené částice Al a Cr ionizovány, jsou-li rozprašovány z terče tvořeného jen Al, respektive jen Cr a porovnat to s případem, kdy jsou odprašovány ze slitinového terče AlCr. Budou měřeny toky atomů a iontů pomočí QCM s mřížkou, kdy následná EDX analýza nadeponované vrstvy určí, o jaké ionty se jednalo.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
21. 5. 2025 10:17, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
Plný text práce
4,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
17. 6. 2025
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.