Závěrečná práce: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253: Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Bakalářská práce
Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Study of reactive magnetron sputtering by optical emission spectroscopy
Anotace
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného programu jsou diskutovány. Byl studován efekt vybraných parametrů na hysterezní jev. Je popsán způsob měření hystereze. Byly určeny optimální pracovní podmínky pro měření.
Abstract
This work dedicates itself to study of reactive magnetron sputtering using optical emission spectroscopy. The basic principles of sputtering and basic plasma diagnostic methods including optical emission spectroscopy are presented in first section. Next, the Berg model is described. The results of created programme are discussed. The effect of selected parameters on hysteresis effect is studied. The …více
11. 10. 2008 12:55, (IS automaticky)
- Zadáno/změněno 28. 6. 2007 09:45, Jindřiška Chlebečková
- Záznam založen 28. 4. 2006 13:01, Irena Mitášová
- Zveřejnit od 22. 5. 2007 10:14, Jindřiška Chlebečková
- Práce převzata 22. 5. 2007 10:14, Jindřiška Chlebečková
čeština
Vedoucí
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Kinetic effects in high-power magnetron sputtering
Mgr. Radoslav Brunovský -
Příprava tenkých vrstev oxidů stabilizovaných vysokou entropií pomocí magnetronového naprašování
Bc. Jáchym Seidenglanz -
Agregace organických látek ve zmrzlých vodných roztocích
prof. Mgr. Dominik Heger, Ph.D., učo 11279 -
Time resolved diagnostics of microwave pulsed plasma
doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259 -
Spektroskopické studium slunečních a hvězdných erupcí
Mgr. Šárka Dyčková -
Photoactivatable Derivatives for Chemical and Biological Applications: Design, Synthesis and Mechanistic Investigation
doc. RNDr. Tomáš Slanina, Ph.D. -
Vývoj a studium molekul uvolňujících CO
Mgr. Tomáš Vranka -
Diagnostika vlastností plynu pomocí Ramanovské spektroskopie
Mgr. Martin Duchaň, Ph.D.
Složky
Soubory
-
Přidání souboru
Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat. -
Další operace se soubory
Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku. -
Pohled pro experty
Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností. -
Vyhledávání souborů
Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku. -
Rychlý přístup k souborům
Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.