Bakalářská práce

Srovnání modelů pro reaktivní magnetronové naprašování

Comparison of models for reactive magnetron sputtering

Simona Adameová
Anotace

Tenké vrstvy, které slouží ke zlepšení povrchových vlastností povlakovaného nástroje, je možné připravit několika metodami. Jejich experimentální vývoj lze výrazně urychlit pomocí numerických simulací, které hrají stále důležitější roli při optimalizaci depozičních podmínek. Tato bakalářská práce se zabývá modelováním procesu reaktivního magnetronového naprašování. Typickými modely pro popis reaktivního …více

Abstract

Thin films that serve to improve the surface properties of the coated tool can be prepared using various methods. Their experimental development can be significantly accelerated through numerical simulations, which play an increasingly important role in optimizing deposition conditions. This bachelor’s thesis focuses on modeling the process of reactive magnetron sputtering. Typical models used to describe …více

Klíčová slova
reaktivní magnetronové naprašování simulace Bergův model vylepšený Bergův model RSD model reactive magnetron sputtering simulation Berg model upgraded Berg model
Zadání práce
Reaktivní magnetronové naprašování je důležitou průmyslovou technikou pro nanášení široké škály vrstev sloučenin, jako jsou oxidy a nitridy. Nicméně fyzika tohoto procesu je složitá a ve své podstatě nelineární. Úkolem studentky bude aplikovat známé modely pro reaktivní magnetronové naprašování, jako jsou Bergův model, upgradovaný Bergův model a RSD model, na simulaci experimentálně získaných dat, kriticky porovnat přesnost nabytých výsledků v závislosti na vstupních požadavcích jednotlivých modelů. Další informace o výzkumné skupině jsou k dispozici na http://pvdlab.cz/.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 5. 2025 12:53, Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265
Plný text práce
5,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
24. 6. 2025
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Matej Fekete, Ph.D., učo 376265
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253
ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultant

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika se zaměřením na vzdělávání

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.