Bakalářská práce

Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce

Strain determination in thin layers using x-ray diffraction

Eliška Tomková
Anotace

Tato práce je věnována studiu deformace epitaxních vrstev materiálu SiGe na Si(001) substrátu pomocí rentgenové difraktometrie. V prvních třech kapitolách jsou vyloženy základy kinematické teorie difrakce rentgenového záření, je nalezena souvislost mezi mapami rozptýlené intenzity v úhlovém a reciprokém prostoru a jsou uvedeny základní vlastnosti slitiny SiGe. V následující kapitole je popsáno …více

Abstract

This work deals with a study of deformation of SiGe epitaxial layers on Si(001) substrate using x-ray diffractometry. In first three chapters, fundamentals of kinematical theory of x-ray scattering are presented, connection between angular-space and reciprocal-space maps of scattered intensity is estabilished and basic properties of SiGe alloy are summarized. The experimental set-up used and the …více

Práce zkontrolována:
11. 10. 2008 12:55, (IS automaticky)
Plný text práce
7,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
28. 6. 2007
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D., učo 7898
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Eliška Tomková PřF B-FY FYZ ymgih/6
Tomková, E.
26. 4. 2007
  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.