Diplomová práce

Charakterizace strukturního poškození broušených povrchů Si pomocí rtg difrakce

Bc. Miloš Hovorka, učo 41410
Anotace

Význačným prvkem v polovodičovém průmyslu je křemík představující základní materiál pro výrobu komponent z oblasti mikroelektroniky. Tato práce se zabývá charakterizací zhmožděných vrstev vzniklých broušením křemíkových krystalů diamantovou pastou. K posouzení míry, případně příčiny poškození zhmožděné vrstvy slouží rentgenová difrakce poskytující rozložení intenzity difúzního rozptylu v reciprokém …více

Abstract

Silicon is a distinctive element in the semiconductor industry. It represents the basic material for the production of the components from the microelectronics field. This thesis deals with the description of the bruised layers caused by the grinding of the silicon crystals by a diamond paste. For the evaluation of the level, eventually the reason of the damage of the bruised layers we use the …více

Klíčová slova
křemík rentgenová difrakce zhmožděná vrstva broušení deformace mozaikové bloky anodická oxidace silicon X-ray diffraction damaged layer polishing deformation mosaic blocks anodic oxidation
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
11. 10. 2008 12:46, (IS automaticky)
Plný text práce
22,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Obhajoba proběhla

Vedoucí

prof. RNDr. Václav Holý, CSc., učo 1656
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Práce zveřejněna z rozhodnutí autora, M. Hovorka, 26. 9. 2011
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.