Diplomová práce

Struktura polovodičových mikrokrystalů na mřížkově nepřizpůsobeném substrátu

Structure of semiconductor microcrystals on lattice mismathed substrate

Bc. Katarína Porubčanová
Anotace

V této diplomové práci se zabýváme studiem epitaxních Ge mikrokrystalů, které jsou deponovány na předem vzorkovaném Si substrátu. Tento způsob přípravy vzorků byl poprvé použit na ETH Zürich, kde byly vyrobeny i naše vzorky. Celkem bylo změřeno 30 vzorků, které pocházejí z jedné Si desky. Vzorky byly rozděleny do dvou skupin podle vzorkovaní substrátu. K dispozici jsme měli vzorky s pilíři a dráty …více

Abstract

In this diploma thesis, we deal with the study of epitaxial Ge microcrystals, which are deposited on a pre-patterned Si substrate. This method of sample preparation was used for the first time at ETH Zürich, where our samples were produced as well. Totally 30 samples, which come from one Si wafer, were measured. The samples were divided into two groups according to the pattern on the substrate. We …více

Klíčová slova
heteroepitaxe křemík germanium mikrokrystaly RTG difrakce mřížkový parametr mapování reciprokého prostoru heteroepitaxy silicon microcrystals X-ray diffraction lattice parameter reciprocal space mapping
Zadání práce
Integrace polovodičových součástek směřuje v poslední době nejen ke zvyšování hustoty aktivních prvků na jednom čipu, která se blíží krajnímu limitu (léta známý Moorův zákon), ale také k různorodosti materiálů použitých na jednom čipu (tzv. více než Moore). Použití epitaxních vrstev s růzmými materiály však přináší řadu obtíží ve formě defektů, které působí proti funkčnosti žádaných optoelektronických součástek. Je to dáno nepřizpůsobením mřížkového parametru vrstvy vůči substrátu. Cílem práce bude měření tlustých epitaxních vrstev složených z mikrokrystalů různých materíálů (např. Ge, GaAs) pomocí rtg rozptylu a skenovacího elektronového mikroskopu. Z rtg difrakčních měření bude určován mřížkový parametr a případně informace o tvaru, samotný tvar včetně krystalových faset bude pozorován také v elektronovém mikroskopu. Předpokladem práce jsou základní znalosti z optiky a fyziky pevných látek.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
4. 1. 2024 08:55, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D., učo 7898
Plný text práce
50,1 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
14. 2. 2024
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D., učo 7898
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponent

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
ÚFKL Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Plán
Fyzika kondenzovaných látek

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.