Diplomová práce

Strukturní vlastnosti epitaxních Ge mikrokrystalů na Si

Structural properties of Ge microcrystals on Si

Bc. Jakub Rozbořil
Anotace

Předložená práce se zabývá studiem struktury epitaxních Ge mikrokrystalů, které se připravují depozicí na Si substrátu obsahujícím pravidelnou síť litograficky vytvořených sloupečků. Krystalová kvalita Ge mikrokrystalů byla studována pomocí rentgenové difrakce metodou mapování reciprokého prostoru. Rozměry a tvary Ge mikrokrystalů byly analyzovány na základě snímků ze skenovacího elektronového mikroskopu …více

Abstract

This thesis deals with a study of structure of epitaxial Ge microcrystals, which are produced by deposition on Si substrate containing a regular net of lithographically formed pillars. Crystal structure of Ge microcrystals was studied by x-ray diffraction method called reciprocal space mapping. Sizes and shapes of Ge microcrystals were analyzed using scanning electron microscope micrographs. Series …více

Klíčová slova
Rtg difrakce mikrokrystal heteroepitaxní růst mřížový parametr X-ray diffraction microcrystal heteroepitaxial growth lattice parameter
Zadání práce
Integrace Ge epitaxních vrstev na Si substrátech je komplikovaná vzhledem k rozdílnému mřížovému parametru Ge a Si při zachování bezdefektního růstu. Zvládnutí těchto obtíží ovšem slibuje tolik přínosnou integraci Ge a hlavně GaAs technologie na Si deskách. V nedávné době byla švýcarko-italskou skupinou uveřejněna technologie růstu Ge krystalů na Si substrátu, kterou je možné dosáhnout extrémně tlustých Ge vrstev na Si prakticky bez dislokací u povrchu. Takovéto souvislé bezdefektní vrstvy mohou sloužit například pro výrobu rtg obrazových detektorů apod. Cílem práce budou rtg měření map reciprokého prostoru na uspořádaných systémech Ge krystalů na Si substrátech a určování strukturních vlastností jejich krystalové mříže, deformace a relaxace. Předpokladem práce na projektu jsou základní znalosti fyziky pevných látek a optiky. Doporučená literatura: C. V. Falub et al., Science 335, 1330 (2012)
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
19. 5. 2014 13:03, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D., učo 7898
Plný text práce
14,1 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
19. 6. 2014
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D., učo 7898
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.