F3390E Micro- and nano- structures preparation

Přírodovědecká fakulta
podzim 2021
Rozsah
2/0/0. 2 kr. (plus ukončení). Ukončení: zk.
Vyučující
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. (přednášející)
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD. (přednášející)
Garance
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Předpoklady
! F3390 Výroba mikro a nano struktur
Předmět bude otevřen pouze pokud se do něj přihlásí aspoň jeden cizojazyčný student, nemluvící česky.
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Jiné omezení: The course F3390E is the English version of the course F3390. Student can not gain credits for both F3390E and F3390.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
The lecture course will introduce foreign students with the basic methods and principles of micro and nano-structures fabrication.
Výstupy z učení
Student will be able to: • - describe the principles of main wet-methods for preparing thick films; • - explain the principles if main dry-methods for preparing thin films, especially CVD, ALD and PECVD; • - explain principles and novel trends in surface patterning by means of optical, electron beam or atomic probe litography; • - characterize various methods for preparing 1D structures - nanoparticles; • - Describe in detail synthesis and characterization of known nanostructured carbon materials.
Osnova
  • Physical and chemical methods of nanoparticels synthesis • Nanoparticles separation and material analysis • Plasma deposition and plasma etching • Electrospinning a nanofibers • Nanostructured carbon (nanotubes, graphene, fullerenes) • Template-based synthesis methods • Fabrication of micro and nano-mechanical structures • Nanoimprinting methods
Literatura
  • Springer handbook of nanotechnology. Edited by Bharat Bhushan. 2nd/3rd ed. Berlin: Springer, 2010, 1 DVD-ROM. ISBN 9783642025242. info
Výukové metody
lectures
Metody hodnocení
oral examination
Vyučovací jazyk
Angličtina
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Výuka probíhá každý týden.
Nachází se v prerekvizitách jiných předmětů
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.