PřF:F5150 Fyzika tenkých vrstev - Informace o předmětu
F5150 Fyzika tenkých vrstev
Přírodovědecká fakultapodzim 2008
- Rozsah
- 2/1/0. 4 kr. Ukončení: z.
- Vyučující
- doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc. (přednášející)
doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc. (cvičící) - Garance
- prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc. - Rozvrh
- Út 13:00–14:50 F3,03015, Út 15:00–15:50 F3,03015
- Omezení zápisu do předmětu
- Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
- Mateřské obory/plány
- Cíle předmětu
- Hlavní cíle kurzu jsou: seznámení s problematikou vytváření 2D struktur, mechanismus růstu těchto struktur a porozumění fyzikálním vlastnostem tenkých vrstev kovů, polovodičů a dielektrik v závislosti na těchto mechanismech. Rozměrový efekt.
- Osnova
- Technologie přípravy tenkých vrstev. Vakuové termické napařovaní, katodové rozprašování, fyzikální metody přípravy epitaxních vrstev, chemické metody přípravy vrstev,anodická a termická oxidace. Měření tloušťky tenké vrstvy a analýza vrstev: elektrické metody, gravimetrická metoda, rezonanční krystal, profilometrická metoda, emisní a absorpční metody. Chemická analýza, strukturní analýza povrchu a objemu vrstev. Nukleace a růst tenkých vrstev: proces růstu vrstev, koalescence, vliv depozičních parametrů na růst vrstev, epitaxní růst,teorie epitaxe. Mechanické vlastnosti vrstev: napětí ve vrstvách, původ vlastního napětí, mechanické vlastnosti izolovaných vrstev, adheze vrstev.Transportní jevy ve vrstvách: souvislé kovové vrstvy, transport náboje v ostrůvkovitých kovových vrstvách, vodivost polovodičových a dielektrických vrstev. Optické vlastnosti tenkých vrstev: optická syntéza a analýza systému vrstev, optické vlastnosti vrstev. Aplikace tenkých vrstev.
- Literatura
- K.L.Chopra> Thin film phenomena (McGraw-Hill Book Co.) 1969.
- Metody hodnocení
- Zápočet na základě přítomnosti ve cvičení
- Další komentáře
- Předmět je dovoleno ukončit i mimo zkouškové období.
Předmět je vyučován jednou za dva roky.
S.
- Statistika zápisu (nejnovější)
- Permalink: https://is.muni.cz/predmet/sci/podzim2008/F5150