SOUČEK, Pavel, Tereza SCHMIDTOVÁ, Lukáš ZÁBRANSKÝ, Vilma BURŠÍKOVÁ, Petr VAŠINA, Ondřej CAHA, Jiří BURŠÍK, Vratislav PEŘINA, Romana MIKŠOVÁ, Y.T. PEI a J.Th.M. DE HOSSON. On the control of deposition process for enhanced mechanical properties of nc-TiC/a-C:H coatings with DC magnetron sputtering at low or high ion flux. Surface & coatings technology, Elsevier, 2014, roč. 255, September, s. 8-14. ISSN 0257-8972. doi:10.1016/j.surfcoat.2013.11.001.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název On the control of deposition process for enhanced mechanical properties of nc-TiC/a-C:H coatings with DC magnetron sputtering at low or high ion flux
Autoři SOUČEK, Pavel (203 Česká republika, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Lukáš ZÁBRANSKÝ (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí), Ondřej CAHA (203 Česká republika, domácí), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika), Vratislav PEŘINA (203 Česká republika), Romana MIKŠOVÁ (203 Česká republika), Y.T. PEI (528 Nizozemsko) a J.Th.M. DE HOSSON (528 Nizozemsko).
Vydání Surface & coatings technology, Elsevier, 2014, 0257-8972.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Švýcarsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 1.998
Kód RIV RIV/00216224:14310/14:00073844
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.11.001
UT WoS 000343348800003
Klíčová slova anglicky nanocomposite; magnetron sputtering; ion flux on the substrate; titanium carbide; enhanced mechanical properties
Štítky AKR, rivok
Změnil Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 15. 3. 2018 11:01.
Anotace
Nanocomposite coatings consisting of nanocrystallites embedded in an amorphous matrix can be tailored to exhibit unusual combination of properties such as high hardness and modulus combined with low friction and wear. The properties of the coatings are governed by parameters of the deposition plasma, which are a nontrivial function of the deposition process parameters. Energy flux onto the growing films provided by ionized species is one of the key parameters influencing the properties of coatings. This study is focused on the influence of ion flux on the properties of the growing nc-TiC/a-C:H thin film in order to achieve enhanced mechanical properties. Two different magnetic field configurations were used. The saturated ion current on the substrate was found to be seven times higher in the strongly unbalanced magnetic configuration as compared to well-balanced configuration. The deposition temperature was constant at ~ 320 °C, which is higher than the usual temperature for similar depositions of nc-TiC/a-C(:H) coatings. The structure and mechanical properties of the coatings prepared at low or high ion flux were studied and compared. It is concluded that the level of the impinging ion flux in DC magnetron sputtering is not a significant factor influencing the mechanical properties of the coatings in the presented setup.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Standardní projekty
GD104/09/H080, projekt VaVNázev: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Doktorské granty
VytisknoutZobrazeno: 26. 2. 2020 02:52