Lecture notes on principles of plasma processing

Přeskočit na horní lištu Přeskočit na hlavičku Přeskočit na obsah Přeskočit na patičku

Publikace Přehled o publikaci

Přehled o publikaci

2003

Lecture notes on principles of plasma processing

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG

Základní údaje

Originální název

Lecture notes on principles of plasma processing

Autoři

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG

Vydání

New York, N.Y. ix, 208, 2003

Nakladatel

Kluwer Academic/Plenum publishers

Další údaje

Označené pro přenos do RIV

ISBN

0306474972

Změněno: 23. 2. 2026 05:35, Záznam byl importován z knihovního systému.

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG. Lecture notes on principles of plasma processing. New York, N.Y.: Kluwer Academic/Plenum publishers, 2003, ix, 208. ISBN 0306474972.

@article{,
   author = {Chen, Francis F. and Chang, Jane P.},
   address = {New York, N.Y.},
   location = {New York, N.Y.},
   isbn = {0306474972},
   publisher = {Kluwer Academic/Plenum publishers},
   title = {Lecture notes on principles of plasma processing},
   year = {2003}
}

TY  - JOUR
AU  - Chen, Francis F. - Chang, Jane P.
PY  - 2003
TI  - Lecture notes on principles of plasma processing
PB  - Kluwer Academic/Plenum publishers
CY  - New York, N.Y.
SN  - 0306474972
ER  -

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG. \textit{Lecture notes on principles of plasma processing}. New York, N.Y.: Kluwer Academic/Plenum publishers, 2003, ix, 208. ISBN~0306474972.