a 2015

Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species

HNILICA, Jaroslav; Pavel SOUČEK; Katarína BERNÁTOVÁ a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species

Autoři

HNILICA, Jaroslav; Pavel SOUČEK; Katarína BERNÁTOVÁ a Petr VAŠINA

Vydání

6th Central European Symposium on Plasma Chemistry, 2015

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Itálie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/15:00081051

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-88-6938-045-7

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; acetylene; OES; titanium

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 7. 12. 2015 11:05, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Anotace

V originále

Temporal evolution of the selected emission line intensities – H line, atom and ion line of Ti and Ar – were measured during the 400us HiPIMS pulse for different acetylene flows. Moreover, densities of sputtered titanium atoms and ions in their ground levels were determined using spectroscopic technique based on effective branching fractions. The technique is based on fitting theoretically calculated branching fractions to experimentally measured fractions of the relative intensities of carefully selected lines of the measured species. Dependencies of intensities of selected species and Ti atom and ion densities on discharge current evolution were studied and were compared for selected acetylene flows. The studied acetylene flow (1-5 sccm) covered the composition of the deposited coatings from titanium rich coating with only a small amount of carbon to carbon rich coating with only a small amount of titanium, whereas the coating with approximately 50% of titanium and 50% of carbon shows generally the highest hardness.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy