a 2016

Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge

FEKETE, Matej; Jaroslav HNILICA; Catalin VITELARU; Tiberiu MINEA; Petr VAŠINA et al.

Základní údaje

Originální název

Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Autoři

FEKETE, Matej; Jaroslav HNILICA; Catalin VITELARU; Tiberiu MINEA a Petr VAŠINA

Vydání

Fifteenth International Conference on Reactive Sputter Deposition 2016, 2016

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Belgie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/16:00088421

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; OES; titanium

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 10. 7. 2017 14:53, Mgr. Matej Fekete, Ph.D.

Anotace

V originále

A technique based on effective branching fractions was extended to determine the absolute ground state number densities of Ti atoms and Ti ions. The effective branching method was cross validated by TD-LAS technique while studying the dc magnetron sputtering discharge. Influence of preceding pulse on the subsequent pulse in the m-HiPIMS mode was examined as a function of delay (200µs, 400µs and 1500µs) between two successive pulses for the pulse duration of 200µs.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy